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发布日期:2021.01.12

按照国际惯例,无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非100%没有一点灰尘,而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微,但是对于光学构造而言,哪怕是一点点的灰尘都会产生非常大的负面影响,所以在光学构造产品的生产上,无尘是必然的要求。

每立方米将小于0.5微米粒径的微尘数量控制在3500个以下,就达到了国际无尘标准的A级。目前应用在芯片级生产加工的无尘标准对于灰尘的要求高于A级,这样的高标主要被应用在一些等级较高芯片生产上。微尘数量被严格控制在每立方米1000个以内,这也就是业内俗称的1K级别。

十万级无尘车间主要采用的送风方式;

1、局部孔板顶棚送风;

2、带扩散板高效空气过滤器顶棚送风;

3、上侧墙送风 等三种送风方式。

十万级无尘车间主要采用的回风方式;

1、单侧墙下部布置回风口;2、当采用走廊回风时,在走廊内均匀布置回风口或在走廊端部集中设置回 风口。

送风口风速米/秒:

1、孔板孔口3~5;

2、侧送风口:

(1)贴附射流2~5;

(2)非贴附射流同侧墙下部回风1.5~2.5,对侧墙下部回风1.0~1.5。

回风口风速(米/秒):

1、洁净室回风口不大于2;

2、走廊内回风口不大于4。

人员进出10万级无尘车间标准操作程序

1 目的

建立10万级无尘车间人员进出标准操作程序,保证无尘车间不受人员污染。

2 范围

车间10万级无尘车间人员的进出,包括生产操作人员、维修人员及管理人员。

3 责任

3.1 凡进出10万级无尘车间的人员均应对此操作程序负责。

3.2 无尘车间班组长、现场品管员负责监督、检查。

4 内容

4.1 进入无尘车间门口,放下自己的雨具、物品于规定位置。

4.2 换拖鞋。在换鞋处,坐在鞋凳上,脱去家居鞋,并将其放入鞋柜,旋转180度,在鞋柜上层取出自己的拖鞋穿上。

4.3 换工作服。进入一般工作区办公室,脱下员工便服,换上工作服。

4.4 洗手。按洗手流程清洗手部。

4.5 换工作鞋。进入更鞋间门口,坐在横凳上,面对门外,脱去拖鞋,将拖鞋放入鞋柜下层,从鞋柜上层取出自己的工作鞋,坐着旋转180度背对门外穿上。

4.6 洗手、烘干。

4.6.1 在洗手池用水润湿双手至腕上10cm,用清洁剂洗涤,使手及手腕上10cm的皮肤均充满泡沫,摩擦约15秒钟。

4.6.2 用水冲洗双手,冲净手上泡米,双手上下翻动,摩擦,直至不感滑腻为止。

4.6.3 用眼检查双手是否已清洁干净。

4.6.4 将手掌伸至烘手机下8~10cm处,烘手,至干为止。

4.7 换洁净内衣裤。脱下工作服放入个人的更衣柜内,从一更更衣室墙壁挂钩上取下含有个人编号的工作帽、工作衣、工作裤换上。按从上到下的顺序穿上,即:先戴帽、口罩,再穿上衣,然后穿裤子。注意要将上衣全部扎紧裤袋里,头发全部塞入帽内,并检查衣帽是否整齐。

4.8 洗手、消毒。

4.8.1 在洗手池用水润湿双手至腕上10cm,用清洁剂洗涤,使手及手腕上10cm的皮肤均充满泡沫,摩擦约15秒钟。

4.8.2 用水冲洗双手,冲净手上泡米,双手上下翻动,摩擦,直至不感滑腻为止。

4.8.3 用眼检查双手是否已清洁干净。

4.8.4 消毒。将双手至腕上10cm浸泡到含氯消毒液中30秒。

4.8.5 将手掌伸至烘手机下8~10cm处,烘手,至干为止。

4.9 穿连体服。从衣柜里取出含个人编号的连体服。按从下到上的顺序穿上,注意不允许让连体服接触到地面。

4.10 收消毒。推门进入缓冲室,双手放在装有75%乙醇的自动感应喷雾器下方,喷雾消毒,摔动双手,让乙醇挥干。

4.11 进入无尘车间。打开缓冲室门,进入无尘区。

4.12 人员出洁净区按进入洁净区相反的程序进行。注意拖工作衣时要按从下到上的顺序脱衣。

4.13 外来参观人员须经工厂同意,在车间管理人员指导和监督下,按规定程序进出无尘车间。外来参观人员必须严格遵守车间无尘各项管理规定。无尘车间生产期间,外来参观人员不得进入。


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